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產(chǎn)品分類(lèi)產(chǎn)品中心/ products
產(chǎn)品型號(hào)：RT RC-04
更新時(shí)間：2025-06-30簡(jiǎn)要描述：RC-04分辨率測(cè)試卡是一種用于設(shè)置和測(cè)試微焦 X 射線系統(tǒng)的光刻生產(chǎn)的測(cè)試模式。它支持 0.1 µm 和 10 µm 之間的分辨率，對(duì)應(yīng)于 0.2 µm 和 20 µm 之間的焦斑尺寸。
| 品牌 | 日本JIMA | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
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IMA RT RC-04分辨率測(cè)試卡詳細(xì)介紹：
JIMA RT RC-04分辨率測(cè)試卡是一種用于設(shè)置和測(cè)試微焦 X 射線系統(tǒng)的光刻生產(chǎn)的測(cè)試模式。
分辨率測(cè)試卡支持 0.1 µm 和 10 µm 之間的分辨率，對(duì)應(yīng)于 0.2 µm 和 20 µm 之間的焦斑尺寸。不同距離的線束應(yīng)用于硅載體
測(cè)試卡特點(diǎn)：
JIMA RT RC-04分辨率測(cè)試卡封裝在一個(gè)防護(hù)盒中
盒子的外形尺寸（W×D×T）：40×30×5mm
芯片尺寸（W×D×T）：5×5×0.015mm
圖案布局：T型
線/空間尺寸：32種規(guī)格圖案,
0.1μm,0.15μm,0.2μm,0.25μm,0.3μm,0.35μm,0.4μm,0.5μm,0.6μm,0.7μm, 0.8μm,
0.9μm,1.0μm,1.5μm,2.0μm,3.0μm,4.0,5.0μm,6.0μm，7.0μm,8.0μm,9.0μm,10.0μm,
JIMA RT RC-04分辨率測(cè)試卡規(guī)格介紹
每個(gè)測(cè)試圖案由 8 條線組成，T 形布局
吸收材料：鎢，厚度>=650nm
保護(hù)膜：PET膜25μm（含粘合劑）
硅基：15 µm +/- 1 µm（厚度）
外殼尺寸：40 x 30 x 5 毫米（寬 x 高 x 深）
芯片尺寸：5 x 5 x 0.06mm（寬 x 高 x 深）
精度模式： 公差： +/- 10%
適用范圍工作溫度：10°C至70°C
JIMA RT RC-04分辨率測(cè)試卡用途：
在 X 射線系統(tǒng)的分辨率測(cè)試。選擇檢測(cè)器、樣品和試管之間的距離，以便獲得盡可能高的放大倍數(shù)。現(xiàn)在選擇所需的 X 射線參數(shù)。將測(cè)試圖案放置在試管前面，以便一束線條中的每條線條清晰可見(jiàn)。使用機(jī)械手進(jìn)行溶出度測(cè)試，使下一個(gè)最小的線束變得可見(jiàn)。只要線條清晰，就繼續(xù)。以下近似適用：焦點(diǎn)尺寸等于分辨率乘以 2。
JIMA RT RC-04分辨率測(cè)試卡的布局+封裝
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